該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達在其零點附近工作，即銜鐵偏轉角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結構緊湊，外形尺寸小，響應快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：
對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特差；力矩馬達帶動射流管，負載慣量大，響應速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥
由永磁動圈式力馬達、一對固定節(jié)流孔、預開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓橋路?；y副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心（主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側控制孔的面積，直至停留在某位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節(jié)流控制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級滑閥閥心跟隨前置級動射流管，負載慣量大，響應速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥
由永磁動圈式力馬達、一對固定節(jié)流孔、預開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預開口節(jié)流控制邊與兩個固定節(jié)流孔組成一個液壓橋路?；y副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內(nèi)滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。輸入控制電流使力馬達動圈產(chǎn)生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心

西門子超聲波液位計7ML5221-1DA11
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派利斯Predictech傳感器TM0180-08-00-05-10-02
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Burkert角座閥001253*
Burkert角座閥001248原廠現(xiàn)貨
REXROTH比例閥4WS2EM10-51/45B11XHT315K31EV
MOOG比例閥MOOG-743-F003A*
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